摘要
气体传感器在环境监测、工业生产、医疗诊断等领域发挥着至关重要的作用。
随着物联网和可穿戴设备的兴起，对低功耗、小型化、高性能气体传感器的需求日益增长。
基于MEMS技术的低功耗催化燃烧式气体传感器具有灵敏度高、选择性好、响应速度快、功耗低等优点，近年来成为国内外研究的热点。
本文首先介绍了气体传感器、MEMS技术和催化燃烧式气体传感器的基本概念，然后综述了MEMS低功耗催化燃烧式气体传感器的研究现状，包括敏感材料、传感器结构设计、微加热器设计以及低功耗技术等方面的研究进展，并对不同研究方法的优缺点进行了比较分析。
最后，总结了该领域面临的挑战，并展望了未来的发展趋势。
关键词：气体传感器；MEMS技术；催化燃烧；低功耗；敏感材料
气体传感器是一种能够检测环境中特定气体的存在并将其浓度转换成可测量信号的装置。
随着工业化进程的加快和人们对环境污染问题日益关注，气体传感器在环境监测、工业安全、医疗诊断、食品安全等领域发挥着越来越重要的作用[1-4]。
近年来，随着物联网、可穿戴设备等新兴技术的快速发展，对气体传感器提出了更高的要求，例如低功耗、小型化、高灵敏度、高选择性等[5-7]。
微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)技术是指将微电子技术与机械技术相结合，制造微型器件和系统的技术，其特征尺寸通常在微米到毫米之间[8]。
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