一、文献综述
1.研究背景
原子探针是一种定量显微分析仪器，通过对不同元素的原子逐个进行分析，可绘出金属样品中不同元素的原子在纳米空间中的分布图形。从分析逐个原子来了解物质微区化学成分的不均匀性，原子探针是一种不可替代的分析方法，能做出大量具有研究意义的探针样品是能进行进一步材料研究的关键。本校通过电化学抛光制备三维原子探针样品，目前所用的设备较为简陋，仅采用简单的凸轮结构，这样不仅导致制作样品的效率低下，还不利于后续的清洗观察步骤，基于这种情况，设计一台一体化先进设备尤为重要。所以本课题为三维原子针尖制备装置的一体化设计，在现有的设计基础上对各个实验装置进行整理整合，研究出一个完整的实验装置使后续对于三维原子针尖的制备更有效率。
2.国内外研究现状分析
2.1三维原子探针样品介绍
因为原子探针需要将感兴趣的特征放置在顶点附近尖锐的针状尖端，标本制
备是必不可少的，而且通常非常具有挑战性，是任何实验的一部分。原子探针显
微镜仪器的最新发展，例如激光脉冲和使用宽视场探测器，已经克服了对材料类
型的许多限制，并且可以研究微观结构。现在，更难的是从不规则几何形状和/
或对特定地点有限制因素的材料中制作标本，对于非金属尤其如此。与之相关的
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